Sputterointikohde tarkoittaa sputterointilähdettä, joka sputteroidaan ja kerrostetaan substraatille sopivissa prosessiolosuhteissa magnetronisputteroinnilla, monikaariionipinnoituksella tai muun tyyppisellä pinnoituslaitteistolla erilaisten toiminnallisten kalvojen muodostamiseksi. Koostumuksen mukaan kohteet voidaan jakaa puhtaisiin metallikohteisiin, metalliseoskohteisiin, oksidikohteisiin, silisidikohteisiin jne.; muodon mukaan ne voidaan jakaa tasomaisiin (suorakulmaiset ja kaarimaalit) ja putkimaisiin kohteisiin. . Sputterointikohteita käytetään laajalti monilla aloilla, kuten koristelu, työkalut ja muotit, lasi, elektroniikkalaitteet, puolijohteet, magneettikuvaus, litteät näytöt, aurinkokennot jne. Eri kentät vaativat erilaisia kohdemateriaaleja.
1. Koristepinnoite
Koristepinnoitteella tarkoitetaan pääasiassa matkapuhelimien, kellojen, lasien, saniteettitavaroiden, laitteiston osien ja muiden tuotteiden pintapinnoitteita. Sillä ei ole vain roolia värin kaunistamisessa, vaan sillä on myös kulutuskestävyys, korroosionkestävyys ja muita toimintoja. Tärkeimmät koristepinnoitteen kohteet ovat: kromikohde, titaanikohde, zirkoniumkohde, nikkelikohde, volframikohde, titaani-alumiinikohde, ruostumaton terästaulu jne.
2. Työstömuottien tai työkalujen pinnoitus
Sitä käytetään pääasiassa työkalujen ja muottien pinnan vahvistamiseen, mikä voi merkittävästi parantaa työkalujen ja muottien käyttöikää ja käsiteltyjen osien laatua. Viime vuosina ilmailu- ja autoteollisuuden kehityksen vetämänä globaalin valmistavan teollisuuden tekninen taso ja tuotannon tehokkuus ovat edistyneet huimasti, ja suorituskykyisten leikkaustyökalujen ja muottien kysyntä kasvaa päivä päivältä. Tärkeimmät muotin pinnoittamiseen käytettävät maalitaulut ovat: titaani-alumiinitaulut, kromitaulut, titaanitaulut jne.
3. Lasipinnoite
Kohdemateriaalien käyttö lasille on pääasiassa tuottaa vähän säteilyä pinnoitettua lasia, joka käyttää magnetronisputteroinnin periaatetta useiden ohuiden kalvojen sputterointiin lasille energiansäästö-, valonsäätö- ja koristelutoimintojen saavuttamiseksi. Tärkeimmät kohteiden tyypit ovat: hopeataulu, kromitaulu, titaanitaulu, nikkeli-kromikohde, pii-alumiinitaulu, titaanioksiditaulu jne. Toinen tärkeä kohdemateriaalien käyttökohde lasissa on autojen taustapeilien, pääasiassa kromin, valmistus. kohteet, alumiinikohteet, titaanioksidikohteet jne. Koska autojen taustapeilien laatuvaatimukset kasvavat edelleen, monet yritykset ovat vaihtaneet alkuperäisestä alumiinipinnoitusprosessista tyhjiöruiskutuskromausprosessiin.
4. Elektronisten laitteiden pinnoite
Elektroniikkalaitteiden pinnoitteita käytetään pääasiassa ohutkalvovastuksissa ja ohutkalvokondensaattoreissa. Ohutkalvovastuksen kohdemateriaaleja ovat NiCr-kohde, nikkelikromipii (NiCrSi)-kohde, kromipii (CrSi)-kohde, tantaali (Ta)-kohde, nikkelikromi-alumiini (NiCrA1)-kohde jne.
5. Tasainen näyttöpinnoite
Kannettavien henkilökohtaisten tietokoneiden, televisioiden, matkapuhelimien jne. litteiden näyttölaitteiden kysynnän nopea kasvu on edistänyt suuresti erityyppisten litteiden näyttölaitteiden kehitystä. Sen tyyppejä ovat: nestekidenäyttölaite (LCD), plasmanäyttölaite (PDP) jne. Kaikki nämä litteät näyttölaitteet käyttävät erityyppisiä kalvoja. Ilman ohutkalvotekniikkaa ei olisi litteitä näyttölaitteita. Suuren pinta-alan pinnoitteiden tasaisuuden varmistamiseksi, tuottavuuden parantamiseksi ja kustannusten alentamiseksi näiden pinnoitteiden valmistuksessa käytetään yhä enemmän sputterointitekniikkaa. Litteän näytön päällystykseen käytetyt päätyypit ovat: kromikohteet, molybdeenikohteet, alumiiniseoskohteet, kuparikohteet jne.
6. Puolijohdepinnoite
Tietotekniikan nopea kehitys edellyttää integroitujen piirien integrointia yhä enemmän. Jokainen yksikkölaite koostuu substraatista, eristekerroksesta, dielektrisestä kerroksesta, johdekerroksesta ja suojakerroksesta. Niistä dielektrinen kerros, johdinkerros ja jopa suojakerros Sputterointipinnoitusprosessia käytetään, joten sputterointikohde on yksi integroitujen piirien valmistuksen ydinmateriaaleista. Puolijohdepinnoitteen kohdemateriaalit vaativat korkean tavoitepuhtauden, yleensä yli 4N tai 5N. Päälajikkeita ovat volframi-titaani-, titaani-, alumiini- ja kuparitaulut.
