1. Puhtaus
Titaanikohteen puhtaudella on suuri vaikutus sputteroitujen kalvojen ominaisuuksiin. Mitä puhtaampi kohde, sitä vähemmän epäpuhtauselementtihiukkasia sputteroidussa kalvossa ja sitä parempi kalvon suorituskyky (kuten korroosionkestävyys, optiset ja sähköiset ominaisuudet). Käytännön sovelluksissa eri tarkoituksiin käytettävien titaanikohteiden puhtausvaatimukset ovat erilaiset. . Esimerkiksi yleisten koristepinnoitteiden kohteiden puhtausvaatimukset eivät ole vaativia, kun taas integroitujen piirien, näyttörunkojen ja muiden kenttien kohteiden puhtausvaatimukset ovat paljon korkeammat, yleensä noin 99,999 prosenttia tai enemmän.
2. Keskimääräinen raekoko
Yleensä titaanikohteella on monikiteinen rakenne ja raekoko voi vaihdella mikroneista millimetreihin. Hienorakeisen kohteen sputterointinopeus on nopeampi kuin karkearaeisen kohteen. Ruiskupinnoitetun kalvon paksuusjakauma on myös suhteellisen tasainen. Integroitujen piirien titaanikohteiden keskimääräisen raekoon vaaditaan yleensä olevan 30 μm sisällä, ja ultrahienojakoisten titaanikohteiden keskimääräisen raekoon on oltava alle 10 μm.
3. Kiteen suuntaus
Titaanilla on tiiviisti pakattu kuusikulmainen rakenne. Sputteroinnin aikana titaanikohdeatomit sputteroituvat helposti atomien kuusikulmaisen järjestelyn suunnassa. Siksi, jotta saavutetaan suurin sputterointinopeus, on mahdollista lisätä sputterointinopeutta muuttamalla kohteen kiderakennetta. ruiskutusnopeus. Titaanikohteen kiteytyssuunnalla on myös suuri vaikutus sputteroidun kalvokerroksen paksuuden tasaisuuteen, ja litteän näytön ja koristepinnoitteen kalvokoko on suhteellisen paksu, joten vaatimukset vastaavan titaanikohteen raesuuntaukselle ovat suhteellisen alhainen.
4. Geometria ja koko
Se heijastuu pääasiassa käsittelyn tarkkuuteen ja käsittelyn laatuun, kuten käsittelykokoon, pinnan tasaisuuteen, karheuteen jne. Pieni paksuus vaikuttaa kohteen käyttöikään; liian karkea tiivistepinta ja tiivistysura aiheuttavat tyhjiöongelmia kohteen asennuksen jälkeen; Kohteen ruiskutuspinnan karhentaminen voi tehdä kohteen pinnasta täynnä ulkonevia kärkiä, kärkivaikutuksen vaikutuksesta näiden kohoavien kärkien potentiaali kasvaa huomattavasti, mikä hajottaa eristepurkauksen. Liian suuri ulkonema on kuitenkin haitallista sputteroinnin laadulle ja stabiiliudelle.
Yrityksemme voi tarjota titaaniseoksia, kutenTitaani-alumiiniset ruiskutuskohteetjaTitanium Ti sputtering Targetsekä titaanikohteet, joiden puhtaus ja muoto on erilainen, ja hyväksyä myös räätälöityjä palveluita. Tarvittaessa ota meihin yhteyttä sähköpostitse.
